著錄信息
- 專利名稱:一種電子管排氣臺
- 專利類型:實用新型
- 申請?zhí)枺?/em>CN201120105152.X
- 公開(公告)號:CN202018941U
- 申請日:20110412
- 公開(公告)日:20111026
- 申請人:成都旭光電子股份有限公司
- 發(fā)明人:曾朝東,韓建軍
- 申請人地址:610500 四川省成都市新都區(qū)電子路172號
- 申請人區(qū)域代碼:CN510114
- 專利權人:成都旭光電子股份有限公司
- 洛迦諾分類:無
- IPC:H01J9/385
- 優(yōu)先權:無
- 專利代理機構:無
- 代理人:無
- 審查員:無
- 國際申請:無
- 國際公開(公告):無
- 進入國家日期:無
- 分案申請:無
關鍵詞
機械泵,烘箱,電源,擴散泵,排位,電氣控制系統(tǒng),電子管,超高真空,流量閥,工作臺,電控,冷阱,毛刺,冷卻空氣管路,擴散泵電源,燈絲電源,控制線路,冷卻空氣,陽極電源,真空管路,離子流,排氣臺,連接,排氣,底部,頂部,能耗
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