著錄信息
- 專利名稱：一種等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積的控制系統(tǒng)
- 專利類型：發(fā)明
- 申請?zhí)枺?/em>CN201310676060.0
- 公開(公告)號：CN103834934B
- 申請日：20131211
- 公開(公告)日：20160511
- 申請人：南方科技大學(xué)
- 發(fā)明人：何祝兵,王春柱,蘇奇聰
- 申請人地址：518000 廣東省深圳市南山區(qū)西麗學(xué)苑大道1088號
- 申請人區(qū)域代碼：CN440305
- 專利權(quán)人：南方科技大學(xué)
- 洛迦諾分類：無
- IPC：C23C16/52
- 優(yōu)先權(quán)：無
- 專利代理機(jī)構(gòu)：廣州三環(huán)專利代理有限公司 44202
- 代理人：郝傳鑫;熊永強(qiáng)
- 審查員：金桂香
- 國際申請：無
- 國際公開(公告)：無
- 進(jìn)入國家日期：無
- 分案申請：無
關(guān)鍵詞
控制設(shè)備組,監(jiān)控設(shè)備,工藝操作,以太網(wǎng)交換機(jī),數(shù)據(jù)處理,等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積,數(shù)據(jù)記錄查詢,參數(shù)配置,控制工藝,控制系統(tǒng),實(shí)時監(jiān)控,遠(yuǎn)程監(jiān)控,反應(yīng)室,裝載室,連接,一種,執(zhí)行,傳輸,操作,滿足,公開
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