1.真空科學與技術、真空工程,;
2.表面科學與技術,;
3.應用表面科學與技術;
4.納米科學與技術,;
5.納米生物與生物界面,;
6.薄膜生長機理、制備技術和應用,;
7.真空獲得與測量,、質譜分析與檢漏;
8.真空冶金與表面工程,;
9.電子材料與器件,、真空微納電子學;
10.等離子體物理與技術,;
11.顯示技術,;
12.真空外延材料與器件;
13.大科學裝置,;
14.其它相關科學技術,。