一,、ITO靶材是什么材料
ITO靶材,全稱為氧化銦錫靶材,,是電子信息工業(yè)領(lǐng)域的關(guān)鍵材料之一,。氧化銦錫(英文全稱為Indium Tin Oxide,簡稱“ITO”),,由氧化銦和氧化錫粉末按照一定比例混合后,,經(jīng)過一系列的生產(chǎn)工藝加工成型,再高溫?zé)Y(jié)形成的黑灰色陶瓷半導(dǎo)體材料,。薄薄的氧化銦錫在可見光范圍內(nèi)呈現(xiàn)透明狀,。不過在紅外光線下,氧化銦錫層起著不透明的作用,,反射紅外線,。
氧化銦錫作為一種n型半導(dǎo)體材料,具有高的導(dǎo)電率,、優(yōu)異的可見光透過率,、較強(qiáng)的機(jī)械硬度和良好的化學(xué)穩(wěn)定性,主要用于制作液晶顯示器,、平板顯示器,、等離子顯示器、觸摸屏,、電子紙,、有機(jī)發(fā)光二極管、太陽能電池,、抗靜電鍍膜,、EMI屏蔽的透明傳導(dǎo)鍍、各種光學(xué)鍍膜等,。
ITO靶材是濺射靶材中的一種,,主要通過磁控濺射將ITO靶材氣化,濺鍍到玻璃基板或柔性有機(jī)薄膜上,制造成ITO薄膜,,后者為透明導(dǎo)電氧化物薄膜,,厚度一般為30-200納米。
二,、ITO靶材應(yīng)用領(lǐng)域
1,、平板顯示器(純度5N)
在平板顯示領(lǐng)域,ITO靶材主要用于制作ITO導(dǎo)電玻璃及觸控屏電極平板,,是LCD,、PDP、OLED,、觸摸屏等各類平板顯示器件制備的核心材料,。顯示面板一般涉及上下兩層ITO導(dǎo)電膜,用量較大,,ITO靶材是平板顯示領(lǐng)域用量最大的靶材之一,。
ITO導(dǎo)電膜玻璃按電阻分為:高電阻玻璃(電阻范圍在150~500歐姆)、普通玻璃(電阻范圍在60~150歐姆),、低電阻玻璃(電阻范圍小于60歐姆),。其中高電阻玻璃一般用于靜電防護(hù)、觸控屏幕制作用,;普通玻璃一般用于TN類液晶顯示器和電子抗干擾,;低電阻玻璃一般用于STN、TFT液晶顯示器和透明線路板,。
LCD面板組件總厚度不到1公分,,內(nèi)部包含20多項(xiàng)材料及元件。不同類型LCD所需材料不盡相同,,但基本結(jié)構(gòu)類似,,即在ITO導(dǎo)電膜玻璃內(nèi)夾著彩色濾光片、偏光板,、配向膜等材料,,灌入液晶材料,后封裝成一個(gè)液晶盒,。因此,,ITO導(dǎo)電膜玻璃作為LCD面板的關(guān)鍵基礎(chǔ)材料,約占LCD面板材料成本的30%,,而ITO靶材約占導(dǎo)電玻璃成本的20%,。
2、薄膜太陽能電池(純度4N)
ITO是一種透明導(dǎo)電層,,在太陽能電池中作為透光層,同時(shí)作為電極,一般為正極,,另一個(gè)電極一般以金屬銀或鋁作為背電極使用,。ITO靶材主要用于生成太陽能薄膜電池的背電極,主要需求為方形板狀靶材,。
3,、保溫透光領(lǐng)域
ITO透明導(dǎo)電膜玻璃作為面發(fā)熱體,通電后可以除冰霜,,用于飛機(jī)擋風(fēng)玻璃,、飛機(jī)眩窗、激光測(cè)距儀,、潛望鏡觀察窗等,,多年來已得到了廣泛的應(yīng)用。ITO透明導(dǎo)電膜玻璃正反面具有相反的紅外線通過及反射性能,,玻璃正面具有優(yōu)良的紅外線通過性,,衰減量極小,而反面又具有紅外線阻擋反射作用,,因而該種玻璃具有優(yōu)良的保溫透光性能,,已大量用于制造冷藏柜,隨著成本的降低將有望用于房屋節(jié)能,。