一,、金剛線母線是什么東西
金剛線母線的制造金剛線的原材料之一,,又稱胚線或基線,,金剛石微粉顆粒就是附著在母線上的。
一般來(lái)說(shuō),,金剛線母線的直徑及研磨介質(zhì)粒度與硅片切割質(zhì)量及切削損耗量相關(guān),,較小的線徑和介質(zhì)粒度有利于提高產(chǎn)品質(zhì)量、降低切削損耗和生產(chǎn)成本,。但同時(shí),,母線線徑變細(xì)后對(duì)母線破斷力、切片設(shè)備穩(wěn)定性提出更高要求,。以目前的技術(shù)水平測(cè)算,,50微米為金剛線母線線徑的價(jià)值平衡點(diǎn),實(shí)驗(yàn)室金剛線母線直徑已降至35微米左右,。
二,、金剛線母線是什么材質(zhì)的
金剛線的母線材質(zhì)主要有兩種,高碳鋼絲和鎢絲,。
早期的金剛線基本上都是用高碳鋼絲作為母線,,具備強(qiáng)度高、硬度大,、切削性好等特點(diǎn),,不過它的線徑規(guī)格較粗,出于硅片降本而催生的薄片化需求,,鎢絲作為母線的金剛線逐漸越來(lái)越多,。
經(jīng)過多年發(fā)展,硅片切割使用的高碳鋼絲金剛線的線徑逐漸細(xì)化,,目前已經(jīng)到35μm,,接近物理極限。在業(yè)內(nèi)看來(lái),,若要向35μm以下的線徑規(guī)格方向演進(jìn),,則需要替換金剛線母線材料,。而鎢絲憑借具備耐磨損、高強(qiáng)度,、斷線率低等優(yōu)勢(shì),,具備更大的細(xì)線化空間。因此,,金剛線母線材料開始朝著鎢絲方向滲透,。
此外,對(duì)于硅片企業(yè)而言,,若金剛線越細(xì),,切割硅棒時(shí)產(chǎn)生的多晶硅損耗就越少,越有利于節(jié)省成本,。另外,,在硅片向大尺寸化、薄片化方向發(fā)展的趨勢(shì)下,,疊加N型硅片發(fā)展趨勢(shì),,更細(xì)的鎢絲有利于減少對(duì)硅片損傷,,提高切割效率,。