一,、金剛線母線是什么東西
金剛線母線的制造金剛線的原材料之一,,又稱胚線或基線,金剛石微粉顆粒就是附著在母線上的,。
一般來說,,金剛線母線的直徑及研磨介質粒度與硅片切割質量及切削損耗量相關,較小的線徑和介質粒度有利于提高產(chǎn)品質量,、降低切削損耗和生產(chǎn)成本,。但同時,母線線徑變細后對母線破斷力,、切片設備穩(wěn)定性提出更高要求,。以目前的技術水平測算,,50微米為金剛線母線線徑的價值平衡點,實驗室金剛線母線直徑已降至35微米左右,。
二,、金剛線母線是什么材質的
金剛線的母線材質主要有兩種,高碳鋼絲和鎢絲,。
早期的金剛線基本上都是用高碳鋼絲作為母線,,具備強度高、硬度大,、切削性好等特點,,不過它的線徑規(guī)格較粗,出于硅片降本而催生的薄片化需求,,鎢絲作為母線的金剛線逐漸越來越多,。
經(jīng)過多年發(fā)展,硅片切割使用的高碳鋼絲金剛線的線徑逐漸細化,,目前已經(jīng)到35μm,,接近物理極限。在業(yè)內看來,,若要向35μm以下的線徑規(guī)格方向演進,,則需要替換金剛線母線材料。而鎢絲憑借具備耐磨損,、高強度,、斷線率低等優(yōu)勢,具備更大的細線化空間,。因此,,金剛線母線材料開始朝著鎢絲方向滲透。
此外,,對于硅片企業(yè)而言,,若金剛線越細,切割硅棒時產(chǎn)生的多晶硅損耗就越少,,越有利于節(jié)省成本,。另外,在硅片向大尺寸化,、薄片化方向發(fā)展的趨勢下,,疊加N型硅片發(fā)展趨勢,更細的鎢絲有利于減少對硅片損傷,,提高切割效率,。