芯片制作流程

1,、濕洗

用各種試劑保持硅晶圓表面沒有雜質(zhì),。

2、光刻

用紫外線透過蒙版照射硅晶圓,，被照到的地方就會(huì)容易被洗掉,，沒被照到的地方就保持原樣. 于是就可以在硅晶圓上面刻出想要的圖案. 注意，此時(shí)還沒有加入雜質(zhì)，依然是一個(gè)硅晶圓,。

3,、 離子注入

在硅晶圓不同的位置加入不同的雜質(zhì)，不同雜質(zhì)根據(jù)濃度/位置的不同就組成了場效應(yīng)管,。

4,、蝕刻

（1）干蝕刻 ：之前用光刻出來的形狀有許多其實(shí)不是我們需要的，而是為了離子注入而蝕刻的?，F(xiàn)在就要用等離子體把他們洗掉,，或者是一些第一步光刻先不需要刻出來的結(jié)構(gòu)，這一步進(jìn)行蝕刻,。

（2）濕蝕刻 ：進(jìn)一步洗掉,，但是用的是試劑，所以叫濕蝕刻,。以上步驟完成后,，場效應(yīng)管就已經(jīng)被做出來啦，但是以上步驟一般都不止做一次,，很可能需要反反復(fù)復(fù)的做,，以達(dá)到要求。

5,、等離子沖洗

用較弱的等離子束轟擊整個(gè)芯片,。

6、熱處理

（1）快速熱退火：就是瞬間把整個(gè)片子通過大功率燈啥的照到1200攝氏度以上,，然后慢慢地冷卻下來,，為了使得注入的離子能更好的被啟動(dòng)以及熱氧化。

（2）退火,。

（3）熱氧化 ：制造出二氧化硅,，也即場效應(yīng)管的柵極(gate) 。

7,、化學(xué)氣相淀積

進(jìn)一步精細(xì)處理表面的各種物質(zhì),。

8、物理氣相淀積

類似,，而且可以給敏感部件加coating,。

9、分子束外延

如果需要長單晶的話就需要,。

10,、電鍍處理

11、化學(xué)/機(jī)械表面處理

12,、晶圓測試

13、晶圓打磨

14,、出廠封裝

芯片和集成電路的區(qū)別

1,、定義不同

（1）集成電路是指組成電路的有源器件,、無源元件及其互連一起制作在半導(dǎo)體襯底上或絕緣基片上，形成結(jié)構(gòu)上緊密聯(lián)系的,、內(nèi)部相關(guān)的事例電子電路,。它可分為半導(dǎo)體集成電路、膜集成電路,、混合集成電路三個(gè)主要分支,。

（2）芯片就是半導(dǎo)體元件產(chǎn)品的統(tǒng)稱，是集成電路的載體,，由晶圓分割而成,。

2、范圍不同

（1）芯片就是芯片,，一般是指你肉眼能夠看到的長滿了很多小腳的或者腳看不到,，但是很明顯的方形的那塊東西。不過,，芯片也包括各種各樣的芯片,，比如基帶的、電壓轉(zhuǎn)換的等等,。

（2）集成電路范圍要廣多了,，把一些電阻電容二極管集成到一起就算是集成電路了，可能是一塊模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換的芯片,，也可能是一塊邏輯控制的芯片,，但是總得來說，這個(gè)概念更加偏向于底層的東西,。

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