一,、光刻機(jī)是干什么用的

光刻機(jī)是用來制造芯片的,。光刻機(jī)又被稱為掩膜對準(zhǔn)曝光機(jī)，在芯片生產(chǎn)中用于光刻工藝,，而光刻工藝又是生產(chǎn)流程中最關(guān)鍵的一步,，所以光刻機(jī)又是芯片生產(chǎn)中不可缺少的設(shè)備。

光刻機(jī)決定了芯片的精密尺寸,，設(shè)計(jì)師設(shè)計(jì)好芯片線路,，再通過光刻機(jī)將線路刻在芯片上,，其尺度通常在微米級以上。

光刻機(jī)是芯片生產(chǎn)中最昂貴也是技術(shù)難度最大的設(shè)備,，因?yàn)槠錄Q定了一塊芯片的整體框架與功能,。

其實(shí)生產(chǎn)高精度芯片并不難，只是生產(chǎn)速度太慢,，而光刻機(jī)能快速生產(chǎn)高精度的芯片,，所以很重要。

二,、光刻機(jī)的工作原理

利用光刻機(jī)發(fā)出的光通過具有圖形的光罩對涂有光刻膠的薄片曝光,，光刻膠見光后會發(fā)生性質(zhì)變化，從而使光罩上得圖形復(fù)印到薄片上,，從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,，類似照相機(jī)照相,。照相機(jī)拍攝的照片是印在底片上，而光刻刻的不是照片,，而是電路圖和其他電子元件,。

簡單點(diǎn)來說，光刻機(jī)就是放大的單反,，光刻機(jī)就是將光罩上的設(shè)計(jì)好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上,，形成圖形。

三,、光刻機(jī)的性能指標(biāo)

光刻機(jī)的主要性能指標(biāo)有：支持基片的尺寸范圍,，分辨率、對準(zhǔn)精度,、曝光方式,、光源波長、光強(qiáng)均勻性,、生產(chǎn)效率等,。

分辨率是對光刻工藝加工可以達(dá)到的最細(xì)線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限制,，所以與光源,、光刻系統(tǒng)、光刻膠和工藝等各方面的限制,。

對準(zhǔn)精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度,。

曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式,。

曝光光源波長分為紫外,、深紫外和極紫外區(qū)域,，光源有汞燈，準(zhǔn)分子激光器等,。