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快速退火爐的主要功能和特點(diǎn)有哪些 快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

摘要:快速退火爐是利用鹵素紅外燈做為熱源,通過極快的升溫速率,將晶圓或者材料快速的加熱到300℃-1200℃,,從而消除晶圓或者材料內(nèi)部的一些缺陷,,改善產(chǎn)品性能,。接下來本文將帶來快速退火爐的主要功能和特點(diǎn)有哪些以及快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹,,感興趣的小伙伴趕緊點(diǎn)進(jìn)來看看吧!

一,、快速退火爐的主要功能和特點(diǎn)有哪些

快速退火爐是用于快速熱處理,、熱氧化處理、高溫退火的設(shè)備,,采用先進(jìn)的微電腦控制系統(tǒng),,采用PID閉環(huán)控制溫度,可以達(dá)到極高的控溫精度和溫度均勻性,,并且可配置真空腔體,,也可根據(jù)用戶工藝需求配置多路氣體。

主要功能和特點(diǎn):

1,、可視化7寸觸摸屏,,設(shè)定數(shù)據(jù)和操作都是圖文界面,操作方便,。

2、爐體配備高精度移動(dòng)平臺(tái),,運(yùn)行平穩(wěn)無抖動(dòng),。

3、爐管可自由移動(dòng),,且密封法蘭之間用搭扣壓緊連接,,放、取物料方便快捷,,避免了螺栓密封人為操作導(dǎo)致漏氣的可能,、減少了因安裝法蘭而造成加熱管損壞的可能、當(dāng)爐管移出爐膛時(shí)冷確風(fēng)扇啟動(dòng),,可實(shí)現(xiàn)試樣的迅速降溫,,滿足材料驟冷驟熱的實(shí)驗(yàn)要求。

4,、爐膛采用進(jìn)口多晶纖維真空吸附制成,,采用進(jìn)口紅外線加熱管加熱,使用壽命可達(dá)5000小時(shí),,升溫速度快,,最高溫度可達(dá)1050℃。

5,、預(yù)留了真空,、氣路快速接口,可配合我司真空系統(tǒng)、混氣系統(tǒng)使用,。

6,、預(yù)留了485轉(zhuǎn)換接口,可通過我司專用軟件,,與計(jì)算機(jī)互聯(lián),,可實(shí)現(xiàn)單臺(tái)或者多臺(tái)電爐的遠(yuǎn)程控制、實(shí)時(shí)追蹤,、歷史記錄,、輸出報(bào)表等功能。

7,、設(shè)置超溫報(bào)警并斷電,,漏電保護(hù),操作安全可靠,。

二,、快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹

了解了快速退火爐的功能和特點(diǎn)后,再來看看快速退火爐的應(yīng)用領(lǐng)域介紹吧,!

1,、快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),,快速熱氧化(RTO),,快速熱氮化(RTN)。

2,、離子注入/接觸退火,。

3、金屬合金,。

4,、熱氧化處理。

5,、化合物合金(砷化鎵,、氮化物等)。

6,、多晶硅退火,。

7、太陽能電池片退火,。

8、高溫退火,。

9,、高溫?cái)U(kuò)散。

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