一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高,，景深長,，那么具體的掃描電鏡的分辨率是多少呢,？

掃描電鏡具有很高的分辨率，普通掃描電鏡的分辨率為幾納米,，場發(fā)射掃描電鏡的分辨率可達(dá)1nm,，已十分接近透射電鏡的水平。

光學(xué)顯微鏡只能在低倍率下使用,，而透射電鏡只能在高倍率下使用,，掃描電鏡可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，彌補(bǔ)了從光學(xué)顯微鏡到透射電鏡觀察的一個(gè)很大的跨度,，實(shí)現(xiàn)了對樣品從宏觀到微觀的觀察和分析,。

二、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經(jīng)簡單了解了掃描電鏡的分辨率,，那么你知道掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響嗎,？

主要影響因素：

1、掃描電子束斑直徑

一般認(rèn)為在理想的情況下,，掃描電鏡的分辨率不可能小于掃描電子束斑直徑,，故束斑直徑越小，電鏡的分辨本領(lǐng)越高,。束斑直徑主要取決于電子光學(xué)系統(tǒng)（電子槍等）,。

2、入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)

例如不同的入射電子能量導(dǎo)致作用區(qū)域不同,，高加速電壓時(shí),，入射電子能量高，作用深度大,，不同深度的信號疊加,，無法清晰地表征材料最表面細(xì)節(jié)；低加速電壓時(shí),，入射電了能量低,，作用深度淺，提高了空間分辨率,。

3,、成像所用信號種類

也是主要與信號本身的能量和信號取樣的區(qū)域范圍，以二次電子為調(diào)制信號和以背散射電子就不一樣,，后者分辨率低于前者,。