一、掃描電鏡的分辨率是多少

掃描電鏡最主要的特征就是其分辨率高,，景深長,，那么具體的掃描電鏡的分辨率是多少呢？

掃描電鏡具有很高的分辨率,，普通掃描電鏡的分辨率為幾納米,，場(chǎng)發(fā)射掃描電鏡的分辨率可達(dá)1nm，已十分接近透射電鏡的水平,。

光學(xué)顯微鏡只能在低倍率下使用,，而透射電鏡只能在高倍率下使用，掃描電鏡可以在幾倍到幾十萬倍的范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào),，彌補(bǔ)了從光學(xué)顯微鏡到透射電鏡觀察的一個(gè)很大的跨度,，實(shí)現(xiàn)了對(duì)樣品從宏觀到微觀的觀察和分析。

二,、掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響

前文已經(jīng)簡(jiǎn)單了解了掃描電鏡的分辨率,，那么你知道掃描電鏡的分辨率受哪些因素影響嗎？

主要影響因素：

1,、掃描電子束斑直徑

一般認(rèn)為在理想的情況下,，掃描電鏡的分辨率不可能小于掃描電子束斑直徑，故束斑直徑越小,，電鏡的分辨本領(lǐng)越高,。束斑直徑主要取決于電子光學(xué)系統(tǒng)（電子槍等）。

2,、入射電子束在樣品中的擴(kuò)展效應(yīng)

例如不同的入射電子能量導(dǎo)致作用區(qū)域不同,，高加速電壓時(shí)，入射電子能量高,，作用深度大,，不同深度的信號(hào)疊加，無法清晰地表征材料最表面細(xì)節(jié),；低加速電壓時(shí),，入射電了能量低，作用深度淺,，提高了空間分辨率,。

3、成像所用信號(hào)種類

也是主要與信號(hào)本身的能量和信號(hào)取樣的區(qū)域范圍,，以二次電子為調(diào)制信號(hào)和以背散射電子就不一樣,，后者分辨率低于前者。