一,、 掃描電鏡有哪些種類

掃描電鏡分類方法：

1、按照電子槍種類分：鎢絲槍,、六硼化鑭,、場發(fā)射電子槍（冷場發(fā)射、熱場發(fā)射）,。

2,、按照樣品室的真空度分：高真空模式、低真空模式,、環(huán)境模式（冷熱高壓低壓等等）,。

3、按照真空泵分：油擴散泵,、分子泵,。

4、按照自動化程度分：自動,、手動,。

5、按照操作方式分：旋鈕操作,、鼠標(biāo)操作。

6,、按照電器控制系統(tǒng)分：模擬控制,、數(shù)字控制。

7,、按照圖像顯示系統(tǒng)分：模擬顯像,、數(shù)字顯像,。

二、 掃描電鏡由什么組成

掃描電鏡由電子光學(xué)系統(tǒng),，信號收集及顯示系統(tǒng),，真空系統(tǒng)及電源系統(tǒng)組成。

1,、電子光學(xué)系統(tǒng)

電子光學(xué)系統(tǒng)由電子槍,，電磁透鏡，掃描線圈和樣品室等部件組成,。其作用是用來獲得掃描電子束,，作為產(chǎn)生物理信號的激發(fā)源。為了獲得較高的信號強度和圖像分辨率,，掃描電子束應(yīng)具有較高的亮度和盡可能小的束斑直徑。

（1）電子槍

其作用是利用陰極與陽極燈絲間的高壓產(chǎn)生高能量的電子束,。目前大多數(shù)掃描電鏡采用熱陰極電子槍,。其優(yōu)點是燈絲價格較便宜，對真空度要求不高,，缺點是鎢絲熱電子發(fā)射效率低,，發(fā)射源直徑較大，即使經(jīng)過二級或三級聚光鏡,，在樣品表面上的電子束斑直徑也在5-7nm,，因此儀器分辨率受到限制。現(xiàn)在,，高等級掃描電鏡采用六硼化鑭（LaB6）或場發(fā)射電子槍,，使二次電子像的分辨率達到2nm。但這種電子槍要求很高的真空度,。

（2）電磁透鏡

其作用主要是把電子槍的束斑逐漸縮小,，是原來直徑約為50mm的束斑縮小成一個只有數(shù)nm的細小束斑。其工作原理與透射電鏡中的電磁透鏡相同,。

掃描電鏡一般有三個聚光鏡,，前兩個透鏡是強透鏡,，用來縮小電子束光斑尺寸,。第三個聚光鏡是弱透鏡，具有較長的焦距,，在該透鏡下方放置樣品可避免磁場對二次電子軌跡的干擾,。

（3）掃描線圈

其作用是提供入射電子束在樣品表面上以及陰極射線管內(nèi)電子束在熒光屏上的同步掃描信號。改變?nèi)肷潆娮邮跇悠繁砻鎾呙枵穹?，以獲得所需放大倍率的掃描像,。掃描線圈試掃描點晶的一個重要組件,，它一般放在最后二透鏡之間，也有的放在末級透鏡的空間內(nèi),。

（4）樣品室

樣品室中主要部件是樣品臺,。它出能進行三維空間的移動，還能傾斜和轉(zhuǎn)動,，樣品臺移動范圍一般可達40毫米,，傾斜范圍至少在50度左右,，轉(zhuǎn)動360度,。

樣品室中還要安置各種型號檢測器,。信號的收集效率和相應(yīng)檢測器的安放位置有很大關(guān)系。樣品臺還可以帶有多種附件,，例如樣品在樣品臺上加熱,，冷卻或拉伸,，可進行動態(tài)觀察,。近年來，為適應(yīng)斷口實物等大零件的需要,，還開發(fā)了可放置尺寸在Φ125mm以上的大樣品臺,。

2、信號檢測放大系統(tǒng)

其作用是檢測樣品在入射電子作用下產(chǎn)生的物理信號,，然后經(jīng)視頻放大作為顯像系統(tǒng)的調(diào)制信號,。

3、真空系統(tǒng)和電源系統(tǒng)

真空系統(tǒng)的作用是為保證電子光學(xué)系統(tǒng)正常工作,，防止樣品污染提供高的真空度，一般情況下要求保持10.4-10.5mmHg的真空度,。