一、半導(dǎo)體設(shè)備的基本原理和工作方式

半導(dǎo)體設(shè)備工作原理基于能帶理論,，即在半導(dǎo)體中存在價(jià)帶和導(dǎo)帶,，其中價(jià)帶是半導(dǎo)體材料中的原子，而導(dǎo)帶中的原子在半導(dǎo)體中被加熱或激發(fā)后被激發(fā)到價(jià)帶之外,。當(dāng)外部電荷作用于半導(dǎo)體中時(shí),，它可以改變電子在能帶中的分布，導(dǎo)致電導(dǎo)率的變化,。

半導(dǎo)體設(shè)備具有重要的電子功能,，如場(chǎng)效應(yīng)管、整流器,、功率放大器和發(fā)光二極管,。基于不同應(yīng)用需要,，半導(dǎo)體設(shè)備可以通過材料,、結(jié)構(gòu)、工藝等方面做出不同的改進(jìn)和針對(duì)性設(shè)計(jì),。

二,、半導(dǎo)體設(shè)備核心部件是什么

據(jù)統(tǒng)計(jì)，半導(dǎo)體設(shè)備的關(guān)鍵子系統(tǒng)主要分為 8 大類,。包含：氣液流量控 制系統(tǒng),、真空系統(tǒng)、制程診斷系統(tǒng),、光學(xué)系統(tǒng),、電源及氣體反應(yīng)系統(tǒng)、熱管理系統(tǒng),、晶圓傳送系 統(tǒng),、其他集成系統(tǒng)及關(guān)鍵組件，每個(gè)子系統(tǒng)亦由數(shù)量龐大的零部件組合而成,。

不同半導(dǎo)體設(shè)備的核心零部件有所不同,。例如：光刻機(jī)的核心零部件包括工作臺(tái)、投影物鏡,、光源 等,，而等離子體真空設(shè)備（PVD、CVD,、刻蝕）的核心零部件包括 MFC,、射頻電源、真空泵,、ESC 等,。