一,、等離子體的產(chǎn)生

等離子清洗機通常采用射頻電源（RF）或微波電源來產(chǎn)生等離子體。在一個密封的腔體內(nèi),，通入適量的工作氣體,，如氧氣、氮氣,、氬氣等,。當電源開啟后，會在腔體內(nèi)形成高頻電磁場,。在高頻電磁場的作用下,，氣體分子中的電子獲得能量，開始加速運動,，并與其他氣體分子發(fā)生碰撞,。這些碰撞會使氣體分子電離，形成由電子,、離子和中性粒子組成的等離子體,。

二、等離子體與物體表面的相互作用

物理作用：等離子體中的離子在電場作用下會獲得一定的動能,，以較高的速度撞擊物體表面,。這種離子轟擊作用可以去除物體表面的污染物,，如灰塵,、油脂等，同時還能使物體表面的微觀結構發(fā)生變化,，增加表面粗糙度,，提高表面的附著力和潤濕性。

化學作用：等離子體中的活性粒子,，如自由基,、原子態(tài)氧等，具有很高的化學活性。它們會與物體表面的原子或分子發(fā)生化學反應,，形成新的化合物,。例如，在氧氣等離子體中,，活性氧原子會與物體表面的碳氫化合物發(fā)生氧化反應,，生成二氧化碳和水等揮發(fā)性物質(zhì)，從而達到去除污染物的目的,。同時,，通過選擇不同的工作氣體，可以在物體表面引入不同的化學基團,，實現(xiàn)對物體表面化學性質(zhì)的改性,。