太陽能電池分為單晶硅太陽能電池,、多晶硅薄膜太陽能電池和非晶硅薄膜太陽能電池三種,。

1、單質(zhì)硅的一種形態(tài),。熔融的單質(zhì)硅在凝固時(shí)硅原子以金剛石晶格排列成許多晶核,，如果這些晶核長(zhǎng)成晶面取向相同的晶粒，則這些晶粒平行結(jié)合起來便結(jié)晶成單晶硅,。

2,、多晶硅是單質(zhì)硅的一種形態(tài)。熔融的單質(zhì)硅在過冷條件下凝固時(shí),，硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,，如這些晶核長(zhǎng)成晶面取向不同的晶粒，則這些晶粒結(jié)合起來,，就結(jié)晶成多晶硅,。

3、非晶硅,。由非晶態(tài)合金制備,，要獲得非晶態(tài)，需要有高的冷卻速率,，而對(duì)冷卻速率的具體要求隨材料而定,。硅要求有極高的冷卻速率,，用液態(tài)快速淬火的方法目前還無法得到非晶態(tài)。近年來,，發(fā)展了許多種氣相淀積非晶態(tài)硅膜的技術(shù),，其中包括真空蒸發(fā)、輝光放電,、濺射及化學(xué)氣相淀積等方法,。一般所用的主要原料是單硅烷（SiH4）、二硅烷（Si2H6）,、四氟化硅（SiF4）等,，純度要求很高。非晶硅膜的結(jié)構(gòu)和性質(zhì)與制備工藝的關(guān)系非常密切,，目前認(rèn)為以輝光放電法制備的非晶硅膜質(zhì)量最好,，設(shè)備也并不復(fù)雜。