一,、啟動(dòng)真空系統(tǒng)
拉出低壓閥,,打開(kāi)充氣閥,確認(rèn)聽(tīng)不到氣流聲后,,啟動(dòng)升鐘罩閥,,使鐘罩升起。對(duì)于某些機(jī)型,,需要依次開(kāi)啟維持泵,、真空計(jì)電源,等待真空度達(dá)到一定值(如小于10)后,,再開(kāi)啟機(jī)械泵進(jìn)行預(yù)抽真空,。
二、安裝與調(diào)試
安裝鍍膜材料:安裝固定鎢螺旋加熱子(或其他蒸發(fā)源),,將鍍膜材料(如鋁絲)穿放在加熱子內(nèi),。
放置基材:把待鍍膜的基材(如PVDF薄膜和鋁蓋板)固定在轉(zhuǎn)動(dòng)圓盤(pán)上,確?;谋砻媲鍧崯o(wú)雜質(zhì),。
清理真空室:清理鐘罩內(nèi)各部位,確保無(wú)任何雜質(zhì)污物,,以免影響鍍膜質(zhì)量,。
落下鐘罩:確認(rèn)所有部件安裝完畢后,,落下鐘罩,準(zhǔn)備進(jìn)行鍍膜操作,。
三,、鍍膜過(guò)程
抽真空:啟動(dòng)真空鍍膜設(shè)備的抽真空機(jī)械泵,繼續(xù)降低真空室內(nèi)的氣壓,。對(duì)于需要高真空的鍍膜工藝,,可能需要開(kāi)啟擴(kuò)散泵等進(jìn)一步降低氣壓。
開(kāi)通冷卻水:在鍍膜過(guò)程中,,可能需要開(kāi)通冷卻水以控制設(shè)備溫度,。
啟動(dòng)鍍膜源:當(dāng)真空度達(dá)到要求后,啟動(dòng)鍍膜源(如電子槍,、蒸發(fā)源等),,開(kāi)始鍍膜操作。根據(jù)鍍膜材料和要求,,調(diào)整鍍膜源的功率,、氣體流量等參數(shù)。
監(jiān)測(cè)鍍膜過(guò)程:在鍍膜過(guò)程中,,使用監(jiān)測(cè)儀器(如石英晶體微天平)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)薄膜的厚度和質(zhì)量,,確保鍍膜效果符合設(shè)計(jì)要求。
四,、鍍膜完成
關(guān)閉鍍膜源:當(dāng)鍍膜達(dá)到預(yù)定厚度或時(shí)間后,,關(guān)閉鍍膜源。
停止抽真空:依次關(guān)閉真空泵,、機(jī)械泵等真空設(shè)備,停止抽真空操作,。
充氣與升鐘罩:向真空室內(nèi)充氣至大氣壓,,然后升起鐘罩,取出鍍膜完成的基材,。
清理與維護(hù):對(duì)鍍膜機(jī)進(jìn)行清理和維護(hù),,包括清理真空室、更換耗材等,,確保設(shè)備處于良好狀態(tài),。