一、真空度無法達到設定值

故障原因：設備存在漏氣點,，如密封件老化,、腔室連接部位松動；真空泵故障,，抽氣能力下降,；真空管道堵塞，影響氣體排出,。

解決方法：使用氦質(zhì)譜檢漏儀等設備檢測漏氣點,，更換老化的密封件，緊固連接部位,；對真空泵進行檢查,，若泵油污染嚴重則更換泵油，檢查泵內(nèi)零件磨損情況,，必要時更換損壞部件,；清理真空管道，去除管道內(nèi)的雜質(zhì)和污垢 ,。

二,、鍍膜厚度不均勻

故障原因：工件旋轉(zhuǎn)或擺動異常，導致各部位接受鍍膜材料的量不一致,；鍍膜源分布不均勻,，如蒸發(fā)源加熱不均,、濺射靶表面磨損不一致；氣體流量不穩(wěn)定,，影響鍍膜材料的沉積過程,。

解決方法：檢查工件旋轉(zhuǎn)或擺動機構(gòu)，修復或更換損壞的傳動部件,，確保工件運動平穩(wěn),；對鍍膜源進行維護和調(diào)整，如調(diào)整蒸發(fā)源的加熱功率分布,，更換磨損嚴重的濺射靶,；校準氣體流量計，檢查氣體管路是否有堵塞或泄漏,，保證氣體流量穩(wěn)定,。

三、設備無法正常啟動

故障原因：電源故障,，如線路斷路,、短路，電源開關損壞,；控制電路故障,，如繼電器、接觸器損壞,，控制芯片異常,；安全保護裝置觸發(fā)，如急停按鈕未復位,、超溫保護啟動,。

解決方法：檢查電源線路，修復斷路或短路問題,，更換損壞的電源開關,；使用萬用表等工具檢測控制電路元件，更換損壞的繼電器,、接觸器或控制芯片,；檢查安全保護裝置，復位急停按鈕,，排查超溫原因并解決,，解除保護狀態(tài)后重新啟動設備。

四,、加熱系統(tǒng)故障

故障原因：加熱元件損壞,，如加熱絲燒斷；溫度控制器故障，無法準確控制溫度,；加熱電路出現(xiàn)問題,，如接線松動、熔斷器熔斷,。

解決方法：更換損壞的加熱元件,；校準或更換溫度控制器，確保溫度控制準確,；檢查加熱電路,，緊固接線端子,，更換熔斷的熔斷器,，修復電路故障。