一,、中國光刻機現(xiàn)在多少納米
2018年3月,上海微電子的90nm光刻機項目通過正式驗收,。也就是說,,我們的國產(chǎn)光刻機目前可以做到90納米工藝。
之前有網(wǎng)友爆料,,上海微電子將于2020年12月下線首臺采用ArF光源的SSA800/10W光刻機,,這是一臺國產(chǎn)浸沒式DUV 光刻機,,可實現(xiàn)單次曝光28nm節(jié)點。所以網(wǎng)絡(luò)里一直流傳著這個說法,。不過對于此消息,,有人說是真的,有人說是假的,。讓人很是迷糊,。
上海微電子的確在做可以實現(xiàn)28納米制程的國產(chǎn)DUV光刻機。只是是否通過驗收,,到底何時能交付,,目前未知。
28納米將會是我們國產(chǎn)光刻機的最高工藝水平,,嚴(yán)格來說,,這個真的算不上高水平,它的前面還有14,、7,、5、3,、2,,甚至是1nm。
但是28納米是成熟工藝,,生產(chǎn)成本低,,只要不追求極致性能的情況下,這種制程的芯片,,其性能也夠用的,,用來生產(chǎn)我們?nèi)粘I钪械碾娮釉O(shè)備是沒有問題的,例如電視,、電視盒子,、音響、電梯,、空調(diào),、微波爐、冰箱,、汽車等等,。
另外,根據(jù)研究機構(gòu)IC Insights發(fā)布的《2020-2024年全球晶圓產(chǎn)能》報告,,預(yù)計到2024年,,半導(dǎo)體制程格局將出現(xiàn)10nm以下,10-20nm,,20nm以上工藝三分天下的格局,,各自市場占有率約為1/3,,而28nm以上的成熟工藝在未來四年的市場份額沒有明顯變化,仍然有很大的市場,,所以無需盲目地追求制程工藝,。
二,、中國高端光刻機什么時候能研制出來
很多人疑惑,,中國是世界上工業(yè)生產(chǎn)能力最強的國家,為什么中國造不出高端的光刻機,?其實最大的原因就是中國的工業(yè)是多而不精,。光刻機并不是一項技術(shù)的突破,而是一整個光學(xué)領(lǐng)域絕大多數(shù)技術(shù)的突破,。
目前全球最頂尖的光刻機接近200噸,,由差不多十萬個零件組成。其中絕大多數(shù)都是核心零件,,每一個零件都需要很多技術(shù)的突破才能做出來,。有工程師稱,里面一些零件需要打磨十年才能誕生,。
雖然最先進(jìn)的光刻機出自荷蘭,,但荷蘭公司也只是做一個組裝和調(diào)試的工作,里面的核心零件來源于大多數(shù)西方國家,。從美國到英國,,從法國到比利時,所有站在西方陣營的國家合在一起,,才能造出一臺最頂尖的光刻機,。所以中國要造最頂尖的光刻機并不是在和某一個國家對抗,而是在和整個西方世界對抗,。
這就好比班級考試,,考試的科目有數(shù)百科??偝煽兒命c的學(xué)生固然能考出一個比較高的總成績,,但是這個學(xué)生不能讓自己每一科的成績都達(dá)到最高。和他相比,,那些成績不好的學(xué)生雖然偏科,,但是他們總有一兩科自己擅長的科目,這些科目總有得高分甚至是滿分的機會,。這些學(xué)生最好的科目加起來,,就能組成一個非常高的“各科總成績”。
要造出最頂端的光刻機,,就需要這些科目每一顆都得到極高的分?jǐn)?shù)甚至是滿分,。所以中國的光刻機之路并不是突破幾項新技術(shù)就能走穩(wěn),、走好的,中國需要在整個光學(xué)技術(shù)上的絕大多數(shù)技術(shù)中得到突破,,才能以一個國家的科技實力對抗整個西方社會,。
很多人疑惑中國什么時候能造出最頂尖的光刻機,這個問題的答案沒有任何人能給出來,。中國在光刻機領(lǐng)域遇到的困難,,和中國當(dāng)年造原子彈時,沒有計算機,,沒有離心機,,沒有數(shù)據(jù)資料一樣困難。當(dāng)年中國在美國造出原子彈接近9年后擁有了自己的原子彈,,中國現(xiàn)在打算大力研制光刻機也是近兩年的事情,。
就目前來說,我國最頂尖的光刻機也就是國際上2005年左右的光刻機最頂尖水平,,差距在15年左右,。所以很多人認(rèn)為,我國應(yīng)該會在十來年左右達(dá)到讓自己的光刻機達(dá)到國際社會的最頂尖水平,。