一,、硅片清洗機工作原理是什么
硅片清洗機是利用超聲波清洗技術(shù),,在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內(nèi)往復(fù)掃動,帶動清洗液形成細(xì)微回流,,使工件污垢在被超聲剝離的同時迅速帶離工件表面,,提高清洗效率。
具體的原理有以下:
1,、真空脫氣,,有效去除液體中氣體,且運用拋動功能,,增強超聲對工件表面油污和污垢的清洗能力,,縮短清洗時間。
2,、洗籃轉(zhuǎn)動機構(gòu),,重疊不可分拆的零件或形狀復(fù)雜的零件,也可做到均勻完整的清洗,。
3,、減壓真空系統(tǒng),能吸出盲孔,、縫隙及疊加零件之間的空氣,,使超聲波在減壓的狀態(tài)下產(chǎn)生驚人的清洗效果。
4,、真空蒸汽清洗 真空干燥系統(tǒng),,利用蒸汽洗凈做養(yǎng)護,完美實現(xiàn)清洗效果,。
5,、蒸汽清洗、干燥及清洗液加熱的全過程在減壓真空中進行,,更有效地確保了安全性。
6,、防爆配件及簡潔加熱系統(tǒng),,進一步提高安全度,。
二、硅片清洗機操作說明
1,、欲清洗工件放入料框內(nèi)專用固定夾內(nèi),,由人工將料框放上入料口,等工位機械手自動將料框送入清洗機本體,,上下提升機構(gòu)依照PLC指定的程序?qū)⒘峡虬崴偷较鄳?yīng)高度位置,。
2、完成對工件的清洗,、噴淋,、漂洗、慢提拉脫水和熱風(fēng)干燥后,、送至清洗機出口,,運送到卸料臺出料,等工位機械手由氣缸橫向驅(qū)動,,直線滑軌導(dǎo)向,。
3、上下提升由馬達驅(qū)動,,直線導(dǎo)軸導(dǎo)向,,慢提拉提升機構(gòu)由變頻馬達驅(qū)動,直線滑塊導(dǎo)向,,上下料由上下提升機構(gòu)獨立完成,,采用觸摸屏操作系統(tǒng),有手動和自動切換開關(guān)及有關(guān)操作按鈕,,能對整個運行過程實行控制,。