一,、硅片清洗機工作原理是什么

硅片清洗機是利用超聲波清洗技術(shù)，在清洗過程中超聲波頻率在合理的范圍內(nèi)往復(fù)掃動,，帶動清洗液形成細微回流,，使工件污垢在被超聲剝離的同時迅速帶離工件表面，提高清洗效率,。

具體的原理有以下：

1,、真空脫氣，有效去除液體中氣體,，且運用拋動功能,，增強超聲對工件表面油污和污垢的清洗能力，縮短清洗時間,。

2,、洗籃轉(zhuǎn)動機構(gòu)，重疊不可分拆的零件或形狀復(fù)雜的零件,，也可做到均勻完整的清洗,。

3、減壓真空系統(tǒng),，能吸出盲孔,、縫隙及疊加零件之間的空氣，使超聲波在減壓的狀態(tài)下產(chǎn)生驚人的清洗效果,。

4,、真空蒸汽清洗 真空干燥系統(tǒng)，利用蒸汽洗凈做養(yǎng)護,，完美實現(xiàn)清洗效果。

5,、蒸汽清洗,、干燥及清洗液加熱的全過程在減壓真空中進行，更有效地確保了安全性,。

6,、防爆配件及簡潔加熱系統(tǒng)，進一步提高安全度,。

二,、硅片清洗機操作說明

1、欲清洗工件放入料框內(nèi)專用固定夾內(nèi)，由人工將料框放上入料口,，等工位機械手自動將料框送入清洗機本體,，上下提升機構(gòu)依照PLC指定的程序?qū)⒘峡虬崴偷较鄳?yīng)高度位置。

2,、完成對工件的清洗,、噴淋、漂洗,、慢提拉脫水和熱風(fēng)干燥后,、送至清洗機出口，運送到卸料臺出料,，等工位機械手由氣缸橫向驅(qū)動,，直線滑軌導(dǎo)向。

3,、上下提升由馬達驅(qū)動,，直線導(dǎo)軸導(dǎo)向，慢提拉提升機構(gòu)由變頻馬達驅(qū)動,，直線滑塊導(dǎo)向,，上下料由上下提升機構(gòu)獨立完成，采用觸摸屏操作系統(tǒng),，有手動和自動切換開關(guān)及有關(guān)操作按鈕,，能對整個運行過程實行控制。