衡量伺服系統(tǒng)性能的主要指標有頻帶寬度和精度,。頻帶寬度簡稱帶寬，由系統(tǒng)頻率響應特性來規(guī)定,，反映伺服系統(tǒng)的跟蹤的快速性,。帶寬越大，快速性越好,。伺服系統(tǒng)的帶寬主要受控制對象和執(zhí)行機構的慣性的限制,。慣性越大，帶寬越窄,。一般伺服系統(tǒng)的帶寬小于15赫,，大型設備伺服系統(tǒng)的帶寬則在1～2赫以下。

自20世紀70年代以來,，由于發(fā)展了力矩電機及高靈敏度測速機,，使伺服系統(tǒng)實現(xiàn)了直接驅動，革除或減小了齒隙和彈性變形等非線性因素,，使帶寬達到50赫,，并成功應用在遠程導彈、人造衛(wèi)星,、精密指揮儀等場所,。

伺服系統(tǒng)的精度主要決定于所用的測量元件的精度。因此,，在伺服系統(tǒng)中必須采用高精度的測量元件,，如精密電位器、自整角機,、旋轉變壓器,、光電編碼器、光柵,、磁柵和球柵等,。此外，也可采取附加措施來提高系統(tǒng)的精度,，例如將測量元件（如自整角機）的測量軸通過減速器與轉軸相連,，使轉軸的轉角得到放大，來提高相對測量精度,。采用這種方案的伺服系統(tǒng)稱為精測粗測系統(tǒng)或雙通道系統(tǒng),。通過減速器與轉軸嚙合的測角線路稱精讀數(shù)通道，直接取自轉軸的測角線路稱粗讀數(shù)通道,。