一,、光刻膠的優(yōu)缺點(diǎn)
光刻膠作為芯片制造中的一種重要材料,,具有以下優(yōu)點(diǎn):
1、精度高,。光刻膠可以在芯片表面形成微米級別的圖案,,具有非常高的精度和穩(wěn)定性。
2,、適用范圍廣,。光刻膠可以適用于不同類型的芯片材料,包括硅片,、玻璃,、陶瓷等。
3,、加工速度快,。光刻膠可以在短時(shí)間內(nèi)完成芯片表面的加工和處理,提高了生產(chǎn)效率,。
但光刻膠也存在一些缺點(diǎn),,主要包括以下幾點(diǎn):
1、成本較高,。光刻膠的制備和加工過程較為復(fù)雜,,成本較高。
2,、對環(huán)境有一定污染,。光刻膠的制備和加工過程會(huì)產(chǎn)生一定的污染物,對環(huán)境有一定影響,。
3,、對人體有一定危害。光刻膠中含有一定的有毒物質(zhì),,對人體有一定危害,。
二、光刻膠的危害及防護(hù)
危害:光刻膠是一種乙類危險(xiǎn)品,,無色透明液體,,有微弱類似芳香酯的氣味。高濃度蒸汽刺激眼和呼吸道,,經(jīng)常吸入對腎臟有損傷,。易燃,遇明火、高熱能燃燒,。受高熱分解放出有毒的氣體,。其蒸氣與空氣可形成爆炸性混合物,當(dāng)達(dá)到一定濃度時(shí),,遇火星會(huì)發(fā)生爆炸,。
急救措施:應(yīng)使吸入蒸氣的患者脫離污染區(qū)。安置休息并保暖,,眼睛受刺激用水沖洗,,對濺入眼內(nèi)的嚴(yán)重患送醫(yī)院診治。皮膚接觸用溶劑擦洗,,再用肥皂徹底洗滌,。誤服立即漱口,送醫(yī)院救治,。
消防方法:消防人員必須佩戴過濾式防毒面具(全面罩)或隔離式呼吸器,,穿全身防火防毒服,在上風(fēng)向滅火,。盡可能將容器從火場移至空曠處,。噴水保持火場容器冷卻,直至滅火結(jié)束,。處在火場中的容器若已變色或從安全泄壓裝置中產(chǎn)生聲音,,必須馬上撤離。滅火劑:霧狀水,、泡沫,、干粉、二氧化碳,、砂土,。
泄漏應(yīng)急處理:迅速撤離泄漏污染區(qū)人員至安全區(qū),并進(jìn)行隔離,,嚴(yán)格限制出入,。切斷火源。建議應(yīng)急處理人員戴自給正壓式呼吸器,,穿一般作業(yè)工作服,。若是液體,盡可能切斷泄漏源,。防止流入下水道,、排洪溝等限制性空間。小量泄漏:用干燥的砂土或類似物質(zhì)吸收,。大量泄漏:構(gòu)筑圍堤或挖坑收容,。用泡沫覆蓋,,降低蒸氣災(zāi)害。用防爆泵轉(zhuǎn)移至槽車或?qū)S檬占鲀?nèi),,回收或運(yùn)至廢物處理場所處置,。若是固體,收集于干燥,、潔凈,、有蓋的容器中。若大量泄漏,,收集回收或運(yùn)至廢物處理場所處置。
操作注意事項(xiàng):密閉操作,。密閉操作,,提供良好的自然通風(fēng)條件。操作人員必須經(jīng)過專門培訓(xùn),,嚴(yán)格遵守操作規(guī)程,。建議操作人員佩戴自吸過濾式防塵口罩,戴化學(xué)安全防護(hù)眼鏡,。遠(yuǎn)離火種,、熱源,工作場所嚴(yán)禁吸煙,。使用防爆型的通風(fēng)系統(tǒng)和設(shè)備,。防止蒸氣泄漏到工作場所空氣中。避免與氧化劑接觸,。搬運(yùn)時(shí)要輕裝輕卸,,防止包裝及容器損壞。配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材及泄漏應(yīng)急處理設(shè)備,。倒空的容器可能殘留有害物,。