一,、光刻膠是什么東西

光刻膠又稱光致抗蝕劑,，是指通過(guò)紫外光,、電子束、離子束,、X射線等的照射或輻射,，其溶解度發(fā)生變化的耐蝕劑刻薄膜材料。由感光樹(shù)脂,、增感劑和溶劑3種主要成分組成的對(duì)光敏感的混合液體,。在光刻工藝過(guò)程中,，用作抗腐蝕涂層材料,。半導(dǎo)體材料在表面加工時(shí)，若采用適當(dāng)?shù)挠羞x擇性的光刻膠,，可在表面上得到所需的圖像,。

二、光刻膠的作用

光刻膠是一大類具有光敏化學(xué)作用（或?qū)﹄娮幽芰棵舾校┑母叻肿泳酆衔锊牧?，是轉(zhuǎn)移紫外曝光或電子束曝照?qǐng)D案的媒介,。光刻膠的英文名為resist，又翻譯為抗蝕劑,、光阻等,。光刻膠的作用就是作為抗刻蝕層保護(hù)襯底表面。光刻膠只是一種形象的說(shuō)法,，因?yàn)楣饪棠z從外觀上呈現(xiàn)為膠狀液體,。

光刻膠通常是以薄膜形式均勻覆蓋于基材表面。當(dāng)紫外光或電子束的照射時(shí),，光刻膠材料本身的特性會(huì)發(fā)生改變,，經(jīng)過(guò)顯影液顯影后，曝光的負(fù)性光刻膠或未曝光的正性光刻膠將會(huì)留在襯底表面,，這樣就將設(shè)計(jì)的微納結(jié)構(gòu)轉(zhuǎn)移到了光刻膠上,，而后續(xù)的刻蝕、沉積等工藝,，就可進(jìn)一步將此圖案轉(zhuǎn)移到光刻膠下面的襯底上,，最后再使用除膠劑將光刻膠除去就可以了。