一,、光刻膠的組成成分有哪些

光刻膠主要由感光劑（光引發(fā)劑）,、聚合劑（感光樹脂）,、溶劑與助劑構成。

1,、光引發(fā)劑是光刻膠的最關鍵成分,，對光刻膠的感光度,、分辨率起著決定性作用。

2,、感光樹脂用于將光刻膠中不同材料聚合在一起,，是構成光刻膠的骨架，決定光刻膠包括硬度,、柔韌性,、附著力等基本屬性。

3,、溶劑是光刻膠中最大成分,，目的是使光刻膠處于液態(tài)，但溶劑本身對光刻膠的化學性質幾乎沒影響,。

4,、助劑通常是專有化合物，由各家廠商獨自研發(fā),，主要用來改變光刻膠特定化學性質,。

二,、光刻膠的原理

1、光敏性原理

光刻膠的基本原理是光敏材料暴露在紫外線下,，光線將光敏材料中的分子激活,，使其發(fā)生化學反應，使光敏膠發(fā)生預設的變化,。根據(jù)光線能量的不同,，光刻膠可分為UV光刻膠和深紫外光刻膠。UV光刻膠用于制造精度要求低的電子元件,，而深紫外光刻膠則用于制造更微小的元器件,。

2、光學成像原理

光刻膠是通過光學成像原理來實現(xiàn)預期的紋理結構,。當光照射在光刻膠表面時,，會通過掩膜上的白色區(qū)域透過黑色區(qū)域，達到將圖案映射到光刻膠上的目的,。通過開發(fā)過程,，只剩下光刻膠上所需的微型器件的部分區(qū)域，即可形成要制造的微型器件,。

3,、選擇適合的溶劑

光刻膠的成分包括光敏材料、單體,、溶劑和劑量,。反應關鍵因素之一是選擇適合系統(tǒng)的溶劑，溶劑是優(yōu)化反應速率和接觸角的關鍵因素,。正確的溶劑選擇可確保強大的粘附力和最小的溶液浸透時間,。